新MEMS技術が展示される「マイクロマシン／MEMS展」、いよいよ開幕

2009年7月29日（水）から31日（金）の3日間、東京ビッグサイト東5ホールにて
開催される「第20回マイクロマシン／MEMS展 ― MEMS、ナノテク、超精密・微細
加工、バイオに関する国際展示会」（主催：（財）マイクロマシンセンター、
オーガナイザー：メサゴ・メッセフランクフルト（株））の開幕まで残す
ところ僅かとなった。昨秋からの世界不況の影響で製造業界の落ち込みが
続く中、2009年度の開催を見送る製造業関連見本市も出てきているが、
そんな中でも第20回マイクロマシン／MEMS展には、10ヶ国から約250社・団体
の出展と、前回と同規模の来場者数（2008年度来場者数：14,075人）が
見込まれている。MEMS、ナノテク、バイオに関わる業界で開発に携わる技術者
が多数来場しており、会場での技術的な問い合わせも多いとして出展する企業
や団体からの評価も高い。

微小な電気機械システムに関する技術の総称である「MEMS(Micro Electro
Mechanical Systemsの頭文字、メムス)」とは、一つのシリコン基板、
ガラス基板、有機材料などの上に機械要素部品、センサー、アクチュエータ、
電子回路を集積化したデバイスを指す。過去30年の間に、MEMSは学術機関や
中小企業で研究開発が進められるところから、航空機産業やコンシューマ産業
など他分野で年間数十億のチップが生産されるような一大産業にまで成長した。
これから3年以内には、携帯電話やあらゆるポータブル電子機器にそれぞれ
10個前後のMEMS技術が搭載されるようになることが見込まれており、今後は
製造業のみならず、医療分野など更に多くの分野で技術が応用されることが
見込まれている。

MEMS技術はプロジェクタの光学素子の一種DMD(Digital Micromirror Device)
や、インクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズル、圧力センサーや
加速度センサーなどの各種のセンサーなど様々な分野でこれまで既に活用されて
いるが、身近な技術応用例としてはスマートフォンなどの高機能電話にも掲載
されている。半導体分野の専門コンサルティング会社であるiSuppli社の報告
によれば、「iPhone」に代表されるスマートフォンの人気の恩恵を受け、
「動き検出のほか、ヒューマンインターフェースや低消費電力のアプリ
ケーション向けに用いられるMEMSベースの加速度計が売上を伸ばしている。
2008年の後半以降、携帯電話機はMEMS市場の成長の原動力となっている」
という。

また、自動車需要が減退しても、自動車の横滑り防止装置（Electronic
Stability Control、略してESC）や同装置向けMEMS部品の市場規模は今後数年
にわたって引き続き拡大するといわれている。これは、欧米ではESCの標準装備
の義務化が決定しているためであり、ESC市場の拡大に伴い、ESCに使われる
加速度センサーや角速度センサー、圧力センサーといったMEMS製品の需要も
伸びている。

マイクロマシン／MEMS展の出展対象産業は、自動車や半導体などの輸出産業の
関連産業であるため、昨秋以降の世界不況の影響を受け、今開催の出展者数は
前回開催時に比べ減少している。しかしながら、MEMS産業が将来性の高い成長
産業であることには変わりなく、引き続き需要の見込まれる自動車・サービス
ロボット向けの各種センサーやMEMS発信器に加えて、今後は医療・エネルギー
分野など更なる市場拡大が期待されている。
今開催においても、ナノインプリントとファウンドリなど出展者数が前年比で
伸びている分野もあり、MEMS技術が応用される分野の拡大が見て取れる。

業界の潜在能力に関して、展示会のオーガナイザーであるメサゴ・メッセ
フランクフルト（株）の代表取締役、広瀬明洋も以下のようにコメントして
いる。「今開催では、全体の約1／3にあたる72社が新製品の展示を予定されて
いる。また、予算の関係上、出展小間数を減少せざるを得なかったが、展示
したい新しい製品や技術がたくさんあるという出展企業も多く、限られた
スペースでどのように展示すればよいだろうかというご相談をいただいている。
こういったことからも、業界ではまだまだ技術革新が進行しており、次世代の
テクノロジーとして、その応用範囲が環境・エネルギーや医療など更に多様な
分野に広がることが予想されている。MEMSの最先端技術が見られるマイクロ
マシン／MEMS展に是非多くの業界関係者にご来場いただきたい。」

第20回開催を記念して、毎年展示会の見どころとして来場者から好評の
併催イベントも、2009年は例年以上に充実したプログラム内容で開催される。
「第15回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム−MEMS World−」や
「MEMS協議会（MIF）フォーラム」をはじめとした多岐にわたる併催プログラム
が連日開催され、海外の研究機関からの発表や日本の学術機関からの先端技術
情報の発表などが行われる予定。

MEMSへの取り組みは、経済産業省も研究開発プロジェクトを発足してサポート
するなど、国を挙げてのプロジェクトといっても過言ではない。第2世代MEMS
として平成18年度〜20年度の3年間、「国/NEDOプロジェクト」として研究開発
が推進してきた高集積・複合MEMS（ファインMEMS）についてのプロジェクト
では、集積化に重きを置き、自動車・IT市場をターゲットとした技術革新が
行われた。経産省により平成20年より進められている新たな研究開発プロ
ジェクト「異分野融合次世代デバイス製造技術開発」（BEANSプロジェクト）
では、ナノ・バイオとの融合により、環境・エネルギー分野、医療・福祉分野、
セキュリティー分野など新たな市場への展開をにらんだ研究開発が行われて
いる。展示会期間中に連日開催される併催プログラムでは、こうした未来の
産業を担う中核技術についての最新の情報が公開される。

また、会期中は各日5つの出展者プレゼンテーションが連日開催され、出展
各社により最新の製品や技術についての紹介が行われる。製品機能や最新技術
について詳細な説明が聞けるとして例年多くの聴講者を集める出展者プレゼン
テーションも、業界の動向を把握する上で欠かせない注目のプログラムだ。

上記の併催プログラムはいずれも聴講無料であり、予約不要となっている。
詳細については、ホームページ（www.micromachine.jp）を参照、もしくは
メールinfo@micromachine.jp にてオーガナイザーであるメサゴ・メッセ
フランクフルト?まで問い合わせのこと。