第22回 ファインテック・ジャパン 出展のお知らせ ～オゾン・窒素酸化物の発生を抑えた低消費電力の大気圧プラズマ装置～

ウェルの大気圧プラズマ装置はオゾン・窒素酸化物の発生を抑えた低消費電力（CO2削減）を特徴とした環境性と、従来設備のように真空チャンバーを必要としないため設備投資と低ランニングコストを兼ね備えた経済性が最大の特徴です。

大気圧下で安定的にグロー放電を発生させ、独自のリアクターヘッドにより面積エリアに高密度プラズマを発生させることが可能になったことで、半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板、液晶ガラス基板等の大型ワーク（ガラス基板等）の量産インラインシステム構築が容易になりました。


□特徴
・低ランニング費用
・オゾン・窒素酸化物の発生を抑えた低消費電力（CO2削減）
・グロー放電プラズマによるダイレクト方式
・低電圧制御と高速処理によるワークへのダメージレス
・プラズマ処理幅のカスタマイズが容易（大型液晶基板、各種フィルムに対応）


□主な用途
・タッチパネルのラミネートフィルルム貼付工程
・半導体ICパッド部ドライ洗浄
・ダイボンディング前処理
・超音波接合前処理
・各種材料の表面改質（親水化、疎水化処理）
・液晶基板の端子洗浄
・FPC基板の表面改質
・ビルドアップ基板のデスミア処理


□プラズマ現象とは？
物質は温度が上昇するにつれて固体から液体さらに液体から気体へと状態が変化します。さらに気体の温度が上昇すると気体分子は解離して原子になり、ついには原子核のまわりを回っていた電子が原子から離れて正イオンと電子に分かれます。この現象は電離とよばれ、この電離によって生じた荷電粒子を含む気体をプラズマとよんでいます。

プラズマには電子の密度や電子のエネルギーの違いによって様々な種類があり、自然界に存在しているプラズマ（現象）としては、太陽、稲妻、オーロラ、ローソクの炎などがあります。また宇宙空間にも希薄なプラズマが広がっており、宇宙を構成する物質の99%以上がプラズマであるといわれています。


□プラズマを利用した製品（技術）とは？
プラズマの定義は物質が電離して正（イオン）と負（電子）の荷電粒子群を含み、全体として電気的にほぼ中性の粒子の集団（電離気体）のことをいいます。 このような性質を有するプラズマを利用した分野には、光源、半導体プラズマプロセスなどがあり、最近では環境保全の分野でも汚染物質をプラズマ処理する用途など幅広く利用されております。


当日は小型卓上型 MyPL-Auto150にてデモンストレーションを実施しますので、実際の大面積プラズマ照射を体感して頂けます。




■第22回 ファインテック・ジャパンの概要
［会期］2011年4月11日（水）～13日（金）　3日間
［開場時間］10：00～18：00　(13日のみ17：00終了) 　　
［会場］東京ビッグサイト　（東京都江東区有明3-21-1）
［ブース］46－9（東6ホール）
［出展内容］
大気圧プラズマ表面改質装置（小型卓上型 MyPL-Auto150）
ポータブル大気圧プラズマ装置（業界最小サイズ）


■サンプルデモ
展示会場にてサンプルデモを実施致しますので、ご希望の方は事前にご連絡をお願いします。